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日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀

日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀SE-101
這是一款高速映射橢圓儀，可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。

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日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀SE-101

這是一款高速映射橢圓儀，可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。

規(guī)格
	測(cè)量
重復(fù)性	膜厚：0.1nm 折射率：0.001 *SiO2膜的一點(diǎn)（膜厚：約100nm）重復(fù)測(cè)量100次時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差值。
測(cè)量速度	最大測(cè)量速度 900 點(diǎn)/分鐘以上（寬模式，測(cè)量 100 平方毫米面積時(shí)） 5,000 點(diǎn)/分鐘或以上（高清晰模式，測(cè)量 1 平方毫米面積時(shí)）
光源	半導(dǎo)體激光器（振蕩波長636nm）
測(cè)量點(diǎn)	廣域模式：0.5 平方毫米高清模式：5.5 微米平方
入射角	70度
尺寸（寬 x 深 x 高）	270×337×最大631mm
兼容透明基材	兼容 ME-210-T 不兼容 ME-210
	住房
舞臺(tái)尺寸	支持最大 8 英寸晶圓（最大 ?300 mm 可選）
尺寸（寬 x 深 x 高）	ME-210-T 650×650×1744mm ME-210 650×650×1740mm
重量	約200公斤
界面	GigE（相機(jī)信號(hào)）
	其他的
界面	GigE（相機(jī)信號(hào)）
電源	AC100-240V
軟件	ME-視圖
配件	臺(tái)式電腦、顯示器、使用說明書、標(biāo)準(zhǔn)樣品